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产品描述
108Auto是一款结构紧凑的离子溅射仪,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。108auto离子溅射仪的样品室直径为120 mm,样品台的高度可以任意调节,同时还带有高效的直流磁控溅射头和独立的真空控制系统,能充分满足客户的多种需求。
主要特性
自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和zui佳的导电喷镀效果。
通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。
操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。
在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果,
通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)在达到设定膜厚时停止喷镀过程。
可用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)手动停止喷镀过程。
数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和zui佳的镀膜效果。
可使用多种金属靶材:Au,Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配),靶材更换快速方便。
技术参数 | |
样品室大小 | 直径120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75") |
靶材 | Au 靶为标配,Au:Pd, Pt, Pt:Pd (选件);大小:直径57mmx 0.1mm厚 |
样品台 | 可以装载12个SEM样品座,高度可调范围为50mm |
溅射控制 | 微处理器控制,安全互锁,可调,zui大电流40mA,程序化数字控制 |
溅射头 | 低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩 |
模拟计量 | 真空:Atm - 0.001mbar |
厚度监控 (选件) | 使用MTM-20高分辨厚度控制仪(选件)自动终止溅射过程,或使用MTM-10高分辨厚度监控仪(选件)手动终止溅射过程 |
控制方法 | 自动气体换气和泄气功能,自动处理排序,带有“暂停”控制的数字定时器(0-300s),自动放气 |
桌上系统 | 真空泵可置于抗震台上,全金属集成耦合系统 |