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产品系列
108C Auto镀碳仪是一个紧凑的,易于使用的镀碳仪,主要用来给不导电的样品镀一层碳膜,用于扫描电镜能谱分析的*成熟的镀碳仪之一。
主要特性
l独特的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约20nm左右进行多次蒸发,无须切削或调整碳棒形状。
l108C Auto中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统结构紧凑,容易操作,抽真空周期短。选件MTM-10高分辨膜厚监控仪可以精确地得到所需的碳膜厚度。
l使用新型的蒸发装置:电流和电压通过磁控头的传感线监控,蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低,碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作。
l可选择手动或自动方式操作。
l自动模式下,蒸发源按程序设定的电压和时间进行喷镀。手动模式下,独特的设计允许以脉冲或连续的方式操作,并通过旋钮控制输出电压。
l可配备MTM-10高分辨膜厚监控仪(选件)。分辨率优于0.1nm。在15nm至25nm的碳膜厚度范围内,重现性可优于5%。
技术参数 | |
样品室大小 | 直径120 x 120mm 高 (4.75 x 4.75") |
蒸发源 | Bradley型 (6.15mm rods),高强度不锈钢结构 |
蒸发控制 | 基于微处理器的反馈回路控制,能够进行远程电流/电压感应,基于真空水平变量的安全互锁功能,zui大电流180A,提供过流保护 |
样品台 | 可装置12个样品座,高度在30mm范围内可调 |
模拟计量 | 真空: atmos - 0.001mb; 电流: 0-200A |
厚度监控 | MTM-10 高分辨膜厚监控仪(选件) |
控制方法 | 自动蒸发控制,使用程序设定的电压和时间 以脉冲或连续方式进行完全手动控制 数字定时器(0-10s) 数字电压设置(0.1 to 6.0V) |
真空系统 | |
真空泵 | 2级直连式高速真空泵 |
抽气速率 | 3.0 m3/小时,真空度到 0.1mb所需时间30秒. |
极限真空 | 5 x 10-3mba |
桌上系统 | 真空泵可置于抗震台上,全金属集成耦合系统 |